ITU Metalurji ve Malzeme Mühendisligi
Turkish English
 
 

ALAN EMİSYONLU TARAMA ELEKTRON MİKROSKOBU

Elektron mikroskobu içerdiği geri saçılan elektron görüntüsü (BSI) ve ikincil elektron görüntüsü (SEI) teknikleriyle malzemelerin yüzey ve kesitlerinin, yüksek büyütmelerde morfolojik ve kimyasal analizi için kullanılmaktadır.

FE-SEM

JEOL JSM 7000F Field Emission Scanning Electron Microscope

Enerji Dağılım Spektrometresi (EDS) ve Dalgaboyu Dağılım Spektrometresi (WDS) (Oxford / Inca)

Nokta analizi, çizgi analizi ve X-ışını haritalaması ile B – U arasındaki tüm elementler analiz edilebilmektedir.

EBSD (Oxford / Inca)

Geri saçılan elektronların difraksiyonu ile faz analizlerinin gerçekleştirilmesi.

SEM nasıl çalışır?

Numunenin SEM ile incelenmesi sırasında numune üzerinde istenilen alana gönderilen elektron demeti ile numune yüzeyine (veya kesitine) enerji transferi sağlanır. Gönderilen bu elektron demeti birincil elektronlar olarak adlandırılır ve numuneden bazı elektronların yerinden oynamasına neden olur. İkincil elektron olarak adlandırılan bu elektronlar bir algılayıcı tarafından toplanır ve sinyale dönüştürülür.


AUGER ELEKTRON SPEKTROSKOPİSİ

Auger elektron görüntüleme ile yüksek çözünürlükte kantitatif yüzey element dağılım haritaları elde etmek için kullanılır.

AES

JEOL JAMP 9500F Field Emission Auger Microprobe

 
 
İstanbul Teknik Üniversitesi 2020